一种半导体测量机台内部温度控制系统及方法.pdfVIP

下载本文档

2
0
约1.81万字
约 17页
2023-11-08 发布于四川
举报
版权申诉

一种半导体测量机台内部温度控制系统及方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种半导体测量机台内部温度控制系统及方法，用于半导体测量机台内部的温度控制，机台主体内部围绕测量平台设置有隔热空间，机台主体上设置有进风加热组件，热源及所述光源上均设置有制冷组件，光学镜头及测量平台上均设置有第二加热单元，加热单元电性连接有第二加热控制器，由加热单元对所述光学镜头及测量平台加热，使所述光学镜头处的温度高于所述测量平台的温度，以降低各所述热源对所述光学镜头的温度影响。本发明使得每个镜头、光源的温度变化稳定，如此后光源波长能量和镜片形变将非常小，对测量结果的影响可以忽略，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115421534 A (43)申请公布日 2022.12.02 (21)申请号 202210992846.2 (22)申请日 2022.08.18 (71)申请人江苏匠岭半导体有限公司地址 21