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- 2023-11-08 发布于四川
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一种晶圆玻璃浆刮涂装置，包括：工作台、承载组件、刮涂组件。工作台顶面设有限位环；承载组件设于工作台上，包括沿竖直方向移动并且绕自身轴线转动的承载座，承载座设于限位环内，用于承载晶圆，承载座下方设有与之同步转动的支撑座，支撑座及承载座上均设有贯穿的气孔，用于吸附晶圆；刮涂组件包括沿竖直方向移动的升降板，升降板上安装有转动的刮板，用于刮涂玻璃浆。工作台上还设有上下贯穿的通孔，通孔直径小于承载座的直径，承载座底面设有限位槽，限位槽呈环形，且截面呈T形，限位槽中配合有滑块，滑块连接于伸缩杆的移动端，伸缩
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219965455 U
(45)授权公告日 2023.11.07
(21)申请号 202321594716.X
(22)申请日 2023.06.21
(73)专利权人 四川上特科技有限公司
地址 6
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