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本发明公开了一种宽光谱片上集成外腔可调谐激光器，涉及半导体激光器技术领域，其技术要点：包括有源部和无源部，有源部包括热沉，热沉上设置有增益芯片以及有源输出波导；无源部包括无源衬底、合束器以及无源输出波导，无源衬底上设有氧化硅盖层，氧化硅盖层上设有多个氮化硅波导与多个氮化硅微环，各氮化硅微环上设有微环加热器，至少一条氮化硅波导设为与增益芯片直接耦合的无源输入波导，无源输入波导与有源输出波导相连接，氮化硅波导与氮化硅微环组成多条用于光路通过的通路，多条通路通过合束器与无源输出波导相连接；本发明通过氮
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117013364 A
(43)申请公布日 2023.11.07
(21)申请号 202310871154.7 H01S 5/062 (2006.01)
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