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隔离阀及真空控制系统.pdfVIP

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  • 2023-11-11 发布于四川
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隔离阀及真空控制系统.pdf

    本公开提供了一种隔离阀及真空控制系统，隔离阀包括阀芯和具有阀腔的阀体，阀体上具有能够连通阀腔与外部的连通孔，阀芯连接有阀杆，阀杆连接有驱动件，驱动件使阀芯能够在第一位置与第二位置之间移动以封闭或打开连通孔，阀杆外套设有具有波纹段的波纹管，阀腔内设置有封套，封套相对阀芯固定设置，且封套包括有环状部，环状部围设在波纹段外。本公开避免了粉尘扬起，降低了隔离阀内部的粉尘，解决了在真空控制系统工作中，粉尘容易被带至工作腔室中的问题，提高了半导体产品的良率。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219994394 U (45)授权公告日 2023.11.10 (21)申请号 202321397879.9 (22)申请日 2023.06.02 (73)专利权人 杭州富芯半导体有限公司 地址

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