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本发明提供一种提高透光率的光反应材料层及其制备方法,该光反应材料层包括依次叠置的第一薄膜层、第二薄膜层、第三薄膜层,第二薄膜层的折射率大于第一薄膜层及第三薄膜层的折射率,利用光从光密到光疏介质发生的全反射作用,使光线在在交界面发生全反射,能够使光线更多地在第二薄膜层发生不断的往复反射,提高光源的利用率,使光源更容易进入第一薄膜层,降低光线能量衰减,提高透光率,提高单位体积内入射光源的强度及均匀度,提高整个改性后的光反应层的均匀性。该光反应材料层能够应用于氮化硅材料层的改性,使其材料中的氢析出,形
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117038707 A
(43)申请公布日 2023.11.10
(21)申请号 202311167953.2
(22)申请日 2023.09.11
(71)申请人 上海积塔半导体有限公司
地址 2
原创力文档


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