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- 2023-11-11 发布于四川
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本实用新型涉及一种ALD双腔腔体的结构改进，特别涉及一种ALD双腔腔体快拆结构，可以实现在反应气体接触的部分快速维修更换，保证实验稳定性，包括外腔壳体、等离子发生器、进气管、排气管和内腔壳体；所述等离子发生器安装在外腔壳体顶部，并与内腔壳体连通，所述进气管通过匀气装置一与内腔壳体连通，所述内腔壳体通过排气管与外部连通，其特征在于，还包括上部接头和锥形进气管，所述上部接头穿过外腔壳体的顶部并与等离子发生器连通，所述锥形进气管位于内腔壳体中并与上部接头可拆式连接，还包括快速连接件，所述快速连接件将锥
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219991727 U
(45)授权公告日 2023.11.10
(21)申请号 202321439008.9
(22)申请日 2023.06.07
(73)专利权人 江苏迈纳德微纳技术有限公司
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