基板制造用氮化硅粉末制备方法及由此制备的氮化硅粉末.pdfVIP

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2023-11-11 发布于四川
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基板制造用氮化硅粉末制备方法及由此制备的氮化硅粉末.pdf

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提供一种用于制造基板的氮化硅粉末的制备方法。根据本发明的一实施例的用于制造基板的氮化硅粉末的制备方法包括：制备包括金属硅粉末和晶相控制粉末的混合原料粉末的步骤；将上述混合原料粉末制成具有预定粒径的颗粒的步骤；在向上述颗粒以预定压力施加氮气的同时在1200℃至1500℃范围内的预定温度下氮化的步骤；及粉碎氮化的颗粒的步骤。据此，容易将粉末实现为具有期望水平的α晶相，在将其实现为基板时，可以制造具有致密密度的基板。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117043101 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202280022464.5 (74)专利代理机构北京派特恩知识产权代理有