具有直线导向功能推杆装置.pdfVIP

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2023-11-11 发布于四川
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具有直线导向功能推杆装置.pdf

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本发明涉及半导体制造技术领域，特别是一种具有直线导向功能推杆装置，包括缸体、活塞、法兰导向套、嵌入式衬套和推杆；所述活塞置于所述缸体内，缸体上设有两个与缸体内部连通的进排气通道，所述活塞的前端与所述推杆的一端连接，所述法兰导向套固定在所述缸体的一侧，所述嵌入式衬套位于所述法兰导向套的内部并沿其长度方向设置，所述推杆置于所述嵌入式衬套的内部并与其滑动配合。本发明中导向轴套内嵌衬套其自身材料具有“自润滑”特性从而无需额外润滑脂，避免了后期维护。同时本发明整体结构简单从而安装维护便捷，具有体积小适用于

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117028350 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202310870513.7 (22)申请日 2023.07.17 (71)申请人浙江洁芯微电子设备有限公司地址