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本实用新型提供了一种半导体设备，包括反应腔室、冷却气源、气动控制阀及电磁控制器。所述冷却气源通过管道连通所述反应腔室，用于为所述反应腔室提供冷却气体冷却晶圆，所述气动控制阀位于所述管道上，用于控制所述管道的通断，所述电磁控制器连接所述气动控制阀，所述电磁控制器可控制所述气动控制阀开启预定时间后关闭。本实用新型的气路简单，且能够保证所述反应腔室具有足量的所述冷却气体但不至于造成气体浪费，由于所述冷却气体为氮气，相较于氩气等气体来说，价格低廉，成本更低。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219991718 U
(45)授权公告日 2023.11.10
(21)申请号 202321570976.3
(22)申请日 2023.06.19
(73)专利权人 粤芯半导体技术股份有限公司
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