晶圆传递用SCARA机械手.pdfVIP

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2023-11-11 发布于四川
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晶圆传递用SCARA机械手.pdf

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本申请涉及晶圆传输技术领域，尤其是涉及一种晶圆传递用SCARA机械手，包括支撑主体；伸臂组件包括转动连接的大臂组件和小臂组件；升降组件具有能够沿竖直方向往复运动的第一输出部；旋转组件，第一输出部连接，具有与大臂组件转动连接的第二输出部；大臂组件包括设置在伸臂传动组件和伸臂输入轴之间的承载件；紧固组件包括设置在紧固螺钉和紧固螺纹孔之间的弹性件，用于连接伸臂传动组件的输入端和第二输出部。本申请通过设置承载件来提升大臂组件运动过程中的刚性，保证伸臂组件在运动过程中的水平度，从而提升伸臂组件的运动平稳性

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117021061 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202311182567.0 (22)申请日 2023.09.14 (71)申请人芯达半导体设备（苏州）有限公司地