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本发明公开了一种压电单晶薄膜复合材料及其制备方法，压电单晶薄膜复合材料包括衬底基板层和压电单晶薄膜层，衬底基板层由尖晶石构成。尖晶石基板通过掺杂以调节尖晶石基板的频率温度系数使之能够补偿压电材料的频率温度系数。在衬底基板层和压电单晶薄膜层之间还可以设置功能层。本发明基于尖晶石衬底的压电单晶薄膜复合材料制备的滤波器具有更高的中心频率，扩大了器件在5G通信领域的应用范围。尖晶石基板层通过掺杂使其能够调节压电单晶薄膜复合材料的频率温度系数，使压电单晶薄膜复合材料的频率温度系数更加向零靠近，可以制备得到
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117042579 A
(43)申请公布日 2023.11.10
(21)申请号 202311187190.8 H10N 30/092 (2023.01)
(22)申请日 2023.09
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