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本发明公开了一种微透镜阵列及其制造方法。一种微透镜阵列的制造方法，包括以下步骤：在衬底表面依次涂布底层聚合物层和顶层聚合物层；利用超临界CO2微发泡工艺对所述底层聚合物层和顶层聚合物层进行发泡处理，形成多孔结构，部分多孔结构贯穿聚合物层的分界面；利用溶剂对所述顶层聚合物层选择性溶解，得到具有凹形结构的微透镜阵列模板；利用聚二甲基硅氧烷前驱体对所述凹形微透镜阵列模板进行复制，固化，剥离，得到微透镜阵列。本发明制备得到的微透镜阵列可以应用于无机、有机发光二极管，提升器件的取光效率，同时微透镜阵列具有
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117031591 A
(43)申请公布日 2023.11.10
(21)申请号 202310989392.8
(22)申请日 2023.08.08
(71)申请人 中山大学
地址 510275
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