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本实用新型涉及光腔衰荡光谱技术领域，尤其是一种应用于光腔衰荡系统的流量压力控制装置，包括衰荡腔，所述衰荡腔上连通设置有进气口比例阀与出气口比例阀，所述出气口比例阀上连通设置有抽气泵，所述衰荡腔内壁上安装有流量计与压力计，所述进气口比例阀、出气口比例阀、流量计、压力计通过导线连接有主板电路。本实用新型通过调节输入的控制电流大小，比例阀可以无极调节阀口的开合度，进而实现流量，压力的精确控制，以便保证设备的检测高精度。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219996865 U
(45)授权公告日 2023.11.10
(21)申请号 202321025586.8
(22)申请日 2023.05.04
(73)专利权人 安徽岑锋科技有限公司
地址 2
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