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- 2023-11-11 发布于四川
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本发明涉及微型化无源声波传感器技术领域，具体涉及一种具有微机械增敏的光纤无源阵列拾音装置及其制作方法，包括硅基增敏结构，用于汇聚声波能量，以增强声波探测的灵敏度；光纤定位槽，与所述硅基增敏结构相连，包括光纤出口和光纤入口。光纤放置槽，连接所述光纤出口和光纤入口，用于放置声压增敏薄膜，以实现收音功能；其中，所述声压增敏薄膜内嵌设有弱反射光栅。本发明提高了传感器声压动态灵敏度，可以满足不同距离和不同范围的拾音要求，在基于相位解调的多点声学传感方案和目标声学信号的收集、提取和还原做出了实质性探索。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117029996 A
(43)申请公布日 2023.11.10
(21)申请号 202311011841.8
(22)申请日 2023.08.11
(71)申请人 四川尕芯科技有限公司
地址 61
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