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本申请提供了一种功率半导体器件的测量系统、测量方法及其测量装置。测量系统包括：第一均衡电路，其中各第一支路与第一测试探针连接，第一测试探针用于接触待测量的功率半导体器件的漏极；第二均衡电路，其中各第二支路与功率半导体器件的源极第二测试探针连接，第二测试探针用于接触待测量功率半导体器件的源极；第一开关模块，分别与第一均衡电路和第二均衡电路电连接，用于使导通的第一支路的数量与待测量功率半导体器件的漏极对应的第一测试探针数量相同，第二支路的数量与待测量功率半导体器件的源极对应的第二测试探针数量相同；放
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117031236 A
(43)申请公布日 2023.11.10
(21)申请号 202311184701.0
(22)申请日 2023.09.13
(71)申请人 珠海格力电子元器
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