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本发明公开一种膜材黄光蚀刻液，其组成按质量百分比分别为0‑25％的酸类混合物、0‑5％的氯化铁、0‑5％的蚀刻添加剂、0‑0.5％的氟表面活化剂，余者组分为纯水；本发明还提供一种基于本发明所述膜材黄光蚀刻液的应用：部分被光刻胶覆盖的ITO样品，垂直放置在蚀刻剂中，蚀刻后，样品在去离子水中冲洗，抗蚀剂在丙酮中剥离，样品在氮气流中干燥，即得蚀刻后的ITO样品。通过使用本发明提供的膜材黄光蚀刻液进行蚀刻，可以显著降低膜材的生产成本，提高经济效益。该蚀刻液具有稳定的药水浓度，在蚀刻过程中不会产生黑边，可
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117025224 A
(43)申请公布日 2023.11.10
(21)申请号 202310997756.7 G03F 7/32 (2006.01)
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