一种夹持式晶圆打磨用的拿取装置.pdfVIP

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2023-11-11 发布于四川
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一种夹持式晶圆打磨用的拿取装置.pdf

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本发明涉及一种晶圆拿取装置。本发明涉及一种夹持式晶圆打磨用的拿取装置。其包括固定装置和设置于固定装置底部的夹持装置，固定装置包括固定机构，固定机构包括固定筒，固定筒的底部固定连接有固定架，夹持装置包括夹持机构。本发明在拿取晶圆时，液压杆带动夹持杆滑动，夹持杆在滑动时，通过斜面和楔形块的配合使伸缩杆带动定位套向远离固定筒的方向滑动，进而使夹持杆和夹持槽滑动，在夹持杆滑动至最底部位置时，夹持槽和楔形块配合使夹持杆和刮擦杆将晶圆紧紧按压在固定架上，完成对晶圆的夹持固定，并且在固定晶圆的同时，将晶圆表面

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117020797 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202311250313.8 (22)申请日 2023.09.26 (71)申请人江苏盟星智能科技有限公司地址