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一种显影盘光刻胶边缘光滑结构.pdfVIP

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  • 2023-11-11 发布于四川
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一种显影盘光刻胶边缘光滑结构.pdf

    本实用新型提供一种显影盘光刻胶边缘光滑结构。所述显影盘光刻胶边缘光滑结构包括箱体；支撑杆，所述支撑杆转动安装在所述箱体的顶部；盘体，所述盘体固定安装在所述支撑杆的顶部；水泵，所述水泵固定安装在所述箱体的一侧外壁上，所述水泵的进液端延伸至所述箱体内；排液管，所述排液管固定安装在所述水泵的排液端；喷头，所述喷头固定安装在所述排液管的排液端。本实用新型提供的显影盘光刻胶边缘光滑结构具有可对芯片边缘光刻胶进行去除，防止多余的光刻胶积留在芯片边缘影响后续曝光显影的优点。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219997475 U (45)授权公告日 2023.11.10 (21)申请号 202320326102.7 (22)申请日 2023.02.27 (73)专利权人 深圳市德贝尔光电材料有限公司 地

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