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本发明公开了一种啮合蠕动式压电移动装置及其驱动方法,包括底座、驱动齿、横向压电驱动器与柔性铰链机构,所述驱动齿包括第一驱动齿、第二驱动齿、第三驱动齿、第四驱动齿、第五驱动齿与第六驱动齿,所述横向压电驱动器包括第一横向压电直线驱动器、第二横向压电直线驱动器与第三横向压电直线驱动器,所述柔性铰链机构包括第一柔性铰链机构、第二柔性铰链机构与第三柔性铰链机构。本发明采用的一种啮合蠕动式压电移动装置及其驱动方法,不仅可实现高自锁性、大行程,而且可以实现高位移分辨率、步态累积误差自消除。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117060778 A
(43)申请公布日 2023.11.14
(21)申请号 202311024196.3
(22)申请日 2023.08.15
(71)申请人 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工
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