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本发明公开了一种半导体用气体加热器，包括：加热器本体，用于加热气流；过滤器装置，用于过滤进入到加热器本体内的气流；过滤器装置包括：进气管，与加热器本体内部相连通；转盘，设于进气管上；滤板，设于转盘上；吸水棉，设于滤板一侧；转盘上设有通道，进气管至少具有通道和进气管相连通的开启状态和通道和进气管相错开的关闭状态；进气管处于开启状态时，吸水棉相对于滤板静止并处于滤板一侧；进气管处于关闭状态时，吸水棉相对于滤板移动并挤压在滤板上；本发明能够有效去除进气中的杂质和水汽。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117053531 A
(43)申请公布日 2023.11.14
(21)申请号 202310976797.8 B01D 46/79 (2022.01)
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