硅基MEMS磁可调滤波器及其制备方法.pdfVIP

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2023-11-15 发布于四川
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硅基MEMS磁可调滤波器及其制备方法.pdf

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本申请适用于射频MEMS器件技术领域，提供了硅基MEMS磁可调滤波器及其制备方法，该硅基MEMS磁可调滤波器包括：可伐载体片；下层硅片，设置于可伐载体片的上表面，下层硅片的下表面开设有空气槽，下层硅片在空气槽以外的部分开设有第一通孔；铁氧体块，设置于空气槽中；上层硅片，设置于下层硅片的上表面，上层硅片开设有第二通孔，且第一通孔与第二通孔连通。本申请硅基MEMS磁可调滤波器的谐振腔体设计灵活、制作成本低、可靠性高、可以大批量生产。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115295987 A (43)申请公布日 2022.11.04 (21)申请号 202210987422.7 (22)申请日 2022.08.17 (71)申请人河北美泰电子科技有