原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一种器件，包括在公共衬底上制造的第一、第二、第三和第四元件。第一元件包括支撑第一光模的有源波导结构，第二元件包括支撑第二光模的无源波导结构，至少部分地对接耦合到第一元件的第三元件包括支撑中间光模的中间波导结构，并且包括TCO材料的第四元件附接到第一元件。如果第一光模与第二光模相差超过预定量，则第二和第三元件中的至少一者中的锥形波导结构便于有效的绝热变换。在任何所述中间光模和第一光模之间都不发生绝热变换。第一、第二、第三和第四元件的相互对准是使用光刻对准标记来限定的。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117055153 A
(43)申请公布日 2023.11.14
(21)申请号 202210816134.5
(22)申请日 2022.07.12
(30)优先权数据
17/738608 2022.
文档评论（0）