一种单晶硅棒直拉工艺硅料绝对液距测量方法.pdfVIP

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2023-11-15 发布于四川
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一种单晶硅棒直拉工艺硅料绝对液距测量方法.pdf

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本发明公开一种单晶硅棒直拉工艺硅料绝对液距测量方法。所述测量方法是对关于导流筒、硅料液面和导流筒在硅料液面的倒影的图像作导流筒弧和硅料液面弧的二维特征检测，根据所述导流筒弧和所述硅料液面弧的二维特征确定所述导流筒弧和所述硅料液面弧的三维坐标，利用所述导流筒弧和所述硅料液面弧的三维坐标通过空间圆拟合算法拟合出导流筒下沿空间圆和导流筒下沿倒影空间圆，根据所述导流筒下沿空间圆与所述导流筒下沿倒影空间圆之间的距离确定所述硅料绝对液距。本发明的有益效果：相比目前普遍采用的计算导流筒到其倒影的像素距离并结合

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117053704 A (43)申请公布日 2023.11.14 (21)申请号 202311008434.1 (22)申请日 2023.08.11 (71)申请人杭州利珀科技有限