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本申请公开了一种流量调节装置及半导体工艺设备，流量调节装置包括：固定架；连接在固定架上的驱动气缸，驱动气缸的一端活动连接有流量调节块，流量调节块由朝向排放口的一端至朝向驱动气缸的一端渐扩，在驱动气缸的行程范围内，流量调节块趋近并封堵排放口，或渐离并释放排放口；气动控制组件，包括自锁电磁阀、第一通气组以及第二通气组，第一通气组分别连接自锁电磁阀的第一出气接口与驱动气缸的开侧接口，第二通气组分别连接自锁电磁阀的第二出气接口与驱动气缸的关侧接口，第二通气组设有先导式单向阀，先导式单向阀通过旁路通气管与
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117072741 A
(43)申请公布日 2023.11.17
(21)申请号 202311236121.1
(22)申请日 2023.09.22
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
地
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