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本实用新型提供一种柔性数据线镀膜治具以及镀膜设备。所述柔性数据线镀膜治具包括:承载框架,具有顶部开口;以及多个数据线支撑架,插入所述承载框架的所述顶部开口内,用于支撑待镀膜的柔性数据线;其中,每个数据线支撑架包括数据线支撑杆以及数据线接头遮蔽底板,所述数据线支撑杆用于支撑所述柔性数据线的线体部分,所述数据线接头遮蔽底板用于遮蔽所述柔性数据线的第一数据线接头和第二数据线接头。所述镀膜设备包括反应腔室,所述反应腔室内设有所述柔性数据线镀膜治具,用于支撑待镀膜的柔性数据线。通过设置了所述数据线接头遮蔽
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 220034629 U
(45)授权公告日 2023.11.17
(21)申请号 202321454393.4
(22)申请日 2023.06.07
(73)专利权人 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公
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