获取理论光谱的方法以及测量光谱异常的判断方法.pdfVIP

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2023-11-18 发布于四川
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本发明提供了一种获取理论光谱的方法以及测量光谱异常的判断方法，所述获取理论光谱的方法包括步骤：在M个不同偏振角条件下，基于光谱反射率仪分别采集待测样品的测量光谱，得到M条测量光谱；其中，所述待测样品为周期性结构样品，M为大于等于3的正整数；对所述M条测量光谱进行线性组合处理，得到目标偏振角条件下的理论光谱，其中，所述线性组合处理包括：获取任意2条测量光谱的线性组合，得到第一线性组合；和/或，获取至少3条测量光谱的线性组合，得到第二线性组合；本发明实现对于结构不确定或者未知的周期性结构的待测样品，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117074316 A (43)申请公布日 2023.11.17 (21)申请号 202310946130.3 (22)申请日 2023.07.28 (71)申请人上海精测半导体技术有限公司地址