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本发明涉及一种具有冷却结构的氮化硅静电吸盘。该静电吸盘包括静电吸盘主体、导热腔体和基座，静电吸盘主体包括在第一区域形成的多个第一冷却气体孔、在第二区域形成的多个第二冷却气体孔；基座具备与多个第一冷却气体孔连接的第一流路图案、与多个第二冷却气体孔连接的第二流路图案、变更注入第一流路图案的冷却气体的流入口位置的流入口移动图案；导热腔体内设置有和第一冷却气体孔相同数量的第三冷却气体孔，及和第二冷却气体孔相同数量的第四冷却气体孔。本发明通过设置多个第一冷却气体孔、第二冷却气体孔、第三冷却气体孔和第四冷却
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117080149 A
(43)申请公布日 2023.11.17
(21)申请号 202311233222.3
(22)申请日 2023.09.22
(71)申请人 衡阳凯新特种材料科技有限公司
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