原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本公开提供一种外延生长装置及预热环与基座相对位置校正方法，装置包括：反应腔室，侧壁上设通孔；基座，绕垂直承载面方向的中心轴可转动；预热环，活动安装至反应腔室内且位于基座的径向外侧，预热环与基座之间具有间隙，预热环的周向外侧面上在第一水平方向上间隔分布有若干调整点位；可操作构件，可经由通孔从反应腔室外侧伸入至反应腔室内侧，第二端被构造为可供操作，第一端能够与任一调整点位之间配合连接或分离，可操作构件与调整点位配合的情况下能够相对基座移动预热环。本公开提供的外延生长装置及预热环与基座相对位置校正方法
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117071060 A
(43)申请公布日 2023.11.17
(21)申请号 202311118721.8 C23C 16/458 (2006.01)
(22)申请日 2023.08
文档评论（0）