台阶形等离子体发生器阴极结构.pdfVIP

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2023-11-18 发布于四川
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台阶形等离子体发生器阴极结构.pdf

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本实用新型涉及离子体发生器技术领域，具体为台阶形等离子体发生器阴极结构，包括阴极部，所述阴极部包括能够安装有钨棒的连接座，所述连接座上固定连接有阴极本体，所述阴极本体内部设有阴极通道；所述阴极通道采用沿着阳极方向开口变小的台阶形结构，能够提高等离子体射流速度。该台阶形等离子体发生器阴极结构，能够通过设有的冷却罩和通气管路分别提供冷却降温和注入惰性保护气的功能，能够避免或减缓高温下阴极烧蚀的问题，有利于提高使用寿命；除此之外，该阴极结构中采用台阶形结构的阴极通道，能够基于开口变小的通道结构，以及内

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220043739 U (45)授权公告日 2023.11.17 (21)申请号 202321453564.1 (22)申请日 2023.06.08 (73)专利权人江苏帕斯玛环境科技有限公司地址