原创力文档- 2
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- 2023-11-18 发布于四川
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本发明提供了一种用于晶圆检测的载台装置，包括底座、直驱旋转电机、旋转平台、三个第一升降机构、三个第一导向机构、真空吸盘等部件。本发明载台装置的旋转平台独立设置，由直驱旋转电机驱动；第一升降机构布置在旋转平台上，减少第一升降机构的负载，提高升降调焦响应速度；旋转平台和第一升降机构独立运行，不会相互影响，提高运动稳定性；由三个第一升降机构驱动真空吸盘运动，等边三角形的结构稳定性高，保证真空吸盘平稳运动；由三个第一导向机构对真空吸盘运动方向进行导向，且三个第一导向机构呈等边三角形布置，进一步提高了运动
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117080156 A
(43)申请公布日 2023.11.17
(21)申请号 202311345153.5
(22)申请日 2023.10.18
(71)申请人 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
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