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- 2023-11-18 发布于四川
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本发明提供了一种用于晶圆检测的气浮运动装置，包括机架、基台、气浮承载座、Y轴运动模块、X轴运动模块。本发明的气浮运动装置采用独立的气浮承载座支撑载物台移动，Y轴运动模块直接以基台作为气浮工作面，X轴运动模块整体堆叠设置在Y轴运动模块上，Y轴运动模块和X轴运动模块均采用气浮轴承实现气浮式移动，装置整体刚度高，承载能力强，运动稳定性好，可以满足晶圆高精度检测要求。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117074739 A
(43)申请公布日 2023.11.17
(21)申请号 202311345176.6
(22)申请日 2023.10.18
(71)申请人 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
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