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本实用新型提供了一种石英盖，包括底板和组合式面板；所述底板用于承托所述组合式面板，所述底板与所述组合式面板可拆卸连接；所述组合式面板包括多个分体，相邻所述分体通过拼接件进行拼接以形成一整体结构，各所述分体上开设有一片槽，且各所述片槽匹配有多个压爪，其中，晶圆通过所述压爪固定于所述片槽内。通过本申请，避免了当单个片槽上的压爪出现异常导致整个石英盖报废的问题，从而提高了其余片槽及相应压爪的利用率，使得资源得以有效利用，且还有利于降低耗材成本。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 220041838 U
(45)授权公告日 2023.11.17
(21)申请号 202321519880.4
(22)申请日 2023.06.14
(73)专利权人 江西兆驰半导体有限公司
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