一种光刻胶加工用冷却降温结构.pdfVIP

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2023-11-18 发布于四川
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一种光刻胶加工用冷却降温结构.pdf

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本实用新型涉及光刻胶加工设备技术领域，尤其涉及一种光刻胶加工用冷却降温结构，包括罐体、刮板和制冷器，罐体内部分别设有冷却腔体、光刻胶腔体，罐体底部一侧固定安装有制冷器，制冷器包括安装支架，安装支架内部固定安装有半导体制冷板，半导体制冷板顶部固定安装有导冷齿板，罐体底部另一侧固定安装有温控器。本实用新型通过冷却腔体内部的冷源可以直接对光刻胶腔体内部的热量进行吸热，不需要管道进行输送冷源，从而解决管道输送容易导致冷量的损耗的问题，提升了冷却腔体内部冷源吸热率，同时也避免冷量的损耗导致的制冷成本提高，

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220038895 U (45)授权公告日 2023.11.17 (21)申请号 202321542544.1 (22)申请日 2023.06.16 (73)专利权人江苏龙东新材料