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本申请公开了一种多目数层叠减薄砂轮及其制备方法，多目数层叠减薄砂轮包括：基座以及设置在基座上的砂轮齿，砂轮齿至少包括依次堆叠设置的第一砂齿层和第二砂齿层，第一砂齿层的砂齿目数小于第二砂齿层的砂齿目数；多个第一砂齿层和第二砂齿层形成至少一组研磨组组合；研磨组组合包括一层第一砂齿层和一层第二砂齿层，且研磨组组合的第一砂齿层位于远离基座一侧。通过在砂轮齿上形成两种或者两种以上砂齿目数的砂齿层，使得可以在同一个减薄轴上完成粗磨、半粗磨或者精磨中的至少两种工艺，避免了购置多台设备或单台复杂设备来完成两种减
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117067125 A
(43)申请公布日 2023.11.17
(21)申请号 202311123395.X
(22)申请日 2023.08.31
(71)申请人 杭州乾晶半导体有限公司
地址 3
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