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本实用新型公开了一种三氯氢硅合成尾气变压吸附回收系统，所述回收系统通过两段吸附单元分别对氯化氢/氯硅烷、氮气/氢气进行吸附和再生，尾部得到高纯度氢气；吸附单元分别包括至少两个吸附塔，实现塔间均压，并通过真空泵提供动力进行解析，实现低能耗，并且实现了两种混合气体及高纯度氢气的回收利用，提高尾气副产回收使用的经济价值。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 220026553 U
(45)授权公告日 2023.11.17
(21)申请号 202321577490.2
(22)申请日 2023.06.20
(73)专利权人 湖北和远新材料
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