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本发明涉及到一种具有表面拉曼增强特性的多孔氮化镓复合衬底的制备方法,该制备方法包括:通过光辅助电化学刻蚀制备多孔氮化镓,刻蚀液选择氢氧化钾,将GaN片浸至在盛放有KOH溶液中并放置于氙灯前,加热至60℃;刻蚀30Min后将GaN片用乙醇和去离子水清洗,用氮气吹干得到多孔氮化镓;配制沉积液的混合溶液;将多孔氮化镓浸泡在混合溶液中进行超声振动;以浸泡的多孔氮化镓作为阴极,以铂片为阳极,使用直流电源进行电沉积,获得复合衬底样品;用乙醇漂洗,去离子水冲洗,冷风干燥,真空袋中保存,获得具有拉曼增强特性的多
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117071020 A
(43)申请公布日 2023.11.17
(21)申请号 202310746367.7 B82Y 30/00 (2011.01)
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