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本发明提供一种用于硅片隐裂检测的装置与方法,属于硅片检测技术领域,包括机架;激光装置,其安装在机架的底部,用于照射检测待测硅片,激光装置的发光部竖直设置,使光线沿竖直方向照射在待测硅片上;调节支架,其安装在机架的上端,用于调节相机的高度及拍摄角度;相机,其安装在调节支架上,用于拍摄待测硅片,所述相机倾斜设置,避免光线照射进入相机的镜头;本发明在识别存在隐裂的硅片后,能够对存在隐裂的硅片进一步提取图像信息,确定隐裂位置、隐裂轮廓形状及隐裂轮廓的大小,通过上述数据信息,以便确定隐裂硅片的处理方式,减
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117096046 A
(43)申请公布日 2023.11.21
(21)申请号 202311055463.3
(22)申请日 2023.08.21
(71)申请人 苏州威华智能装备有限公司
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