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一种感光器件.pdfVIP

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  • 2023-11-22 发布于四川
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一种感光器件.pdf

    本实用新型涉及一种感光器件，借助光从光密介质到光疏介质的全反射避免光串扰，减少了像元隔离部件中金属填充物的深度，从而降低隔离部件的宽度，大大提高了保证了芯片尺寸的有效利用。具体的，本实用新型包括至少两个相邻像元，以及隔离所述两个相邻像元的隔离部件，所述隔离部件由介电材料构成，且所述介电材料中填充有金属，金属的填充深度基于全反射原理金属进行设置。通过本实用新型，可以减少DTI的宽度，从而提高了像元阵列的填充系数。且由于隔离区面积的减少，大大缩小了芯片面积。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220065721 U (45)授权公告日 2023.11.21 (21)申请号 202320285564.9 (22)申请日 2023.02.22 (73)专利权人 浙江大学 地址 310058

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