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一种CVD/CVI工艺尾气的冷凝除尘装置.pdfVIP

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  • 2023-11-22 发布于四川
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一种CVD/CVI工艺尾气的冷凝除尘装置.pdf

    本申请涉及一种CVD/CVI工艺尾气的冷凝除尘装置，涉及工业尾气处理装置技术领域，其包括分离机构，分离机构包括外壳和法兰，法兰可拆卸连接于外壳顶端，外壳的上端一侧设有贯穿外壳的进风管，法兰上设有沿法兰的厚度方向贯穿法兰的排风管；外壳还包括内筒和套设在内筒外的外筒，内筒的外壁与外筒的内壁之间形成封闭的冷却腔，外筒底部一侧固设有与冷却腔相连通的进液管，外筒上部一侧固设有与冷却腔相连通的排液管。本申请具有降低对冷凝除尘装置的维护成本的效果。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220047412 U (45)授权公告日 2023.11.21 (21)申请号 202321476878.3 (22)申请日 2023.06.10 (73)专利权人 北京北方华创真空技术有限公司 地

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