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本发明属于表面三维形貌测量相关技术领域,并公开了一种堆叠片曲面变形测量装置及方法。该装置包括光源、分光器、反射镜、微反射镜和相机,其中,分光器设置在所述光源后方,反射镜和微反射镜均设置在所述分光器后方,待测堆叠片设置在所述微反射镜后方,光源发出的光经过所述分光器被分为两束光,一束进入反射镜作为参考光,一束进入微反射镜作为测量光,该测量光经过微反射镜反射照射在待测堆叠片表面被待测堆叠片反射,反射的光线原路返回至分光器,同时,所述参考光被反射镜反射进入所述分光器,参考光和测量光均被所述分光器反射并进
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117091526 A
(43)申请公布日 2023.11.21
(21)申请号 202311104540.X
(22)申请日 2023.08.30
(71)申请人 华中科技大学
地址 430074
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