原创力文档- 3
- 0
- 约1.15万字
- 约 16页
- 2023-11-22 发布于四川
- 举报
本发明公开了一种防止硅片粘连的硅片承载器，包括承载架，承载架上连接有倾斜架，承载架上开设有侧槽和中间槽，承载架上端连接有连接柱，连接柱上连接有限位扣，连接柱外侧连接有轴架，轴架上连接有分离轴二，承载架一侧连接有U型板，U型板上开设有板槽，板槽上连接有分离轴一，分离轴一上连接有用以拨动硅片分离的分离机构一，分离轴二上连接有用以拨动硅片分离的分离机构二，分离机构二包括分离片一，分离片一转动连接在分离轴二，分离片一上固定连接有绳杆。本发明利用分离片一和分离片二从硅片两侧对其结构进行挑动分离，使得相邻硅
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117096075 A
(43)申请公布日 2023.11.21
(21)申请号 202311348875.6
(22)申请日 2023.10.18
(71)申请人 长春市元尚欣信息科技有限公司
地址
文档评论（0）