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一种单晶炉.pdfVIP

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  • 2023-11-22 发布于四川
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一种单晶炉.pdf

    本申请涉及晶棒制作技术领域，提供一种单晶炉，包括：主炉室、晶棒升降机构、加热系统、冷却系统、坩埚和升降旋转机构，坩埚设置在升降旋转机构上，主炉室内设有支撑架，支撑架上设有导流筒，导流筒的下端设有两端贯通的稳流筒，稳流筒的一端固定在导流筒上，另一端伸入至坩埚内的液面之下，导流筒和稳流筒将加热系统和冷却系统隔开，晶棒在导流筒内被晶棒升降机构向上拉出成型。稳流筒与液面形成一个较为封闭的空间，稳流筒可保证拉晶过程中，即使在持续加料，单晶硅棒的生长界面始终处于一个较平坦、稳定的温度场内，且受外部热量传导、

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117089919 A (43)申请公布日 2023.11.21 (21)申请号 202311108628.9 (22)申请日 2023.08.31 (71)申请人 湖南世鑫新材料有限公司 地址 4

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