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本发明提供一种碳化硅晶体线切割装置及切割方法，包括切割平台、线切割装置、承载偏转装置等装置，其中线切割装置包括线驱动轮、线偏转组件、偏转驱动装置一、偏转驱动装置二等装置，承载偏转装置能够控制碳化硅晶体间断转动，转动至预定位置后，通过偏转驱动装置一以及偏转驱动装置二协同控制切割线的切割姿态完成对碳化硅晶体的连续切割，对于大尺寸的碳化硅晶体切割来说，能够从外侧至内侧将碳化硅晶体逐步进行切割，以保证切割线与碳化硅晶体切割位置为点接触，减少接触重叠面积以及减少切割的跨度。该能够解决对于大尺寸碳化硅晶体在
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117103480 A
(43)申请公布日 2023.11.24
(21)申请号 202310951600.5
(22)申请日 2023.07.31
(71)申请人 安徽微芯长江半导体材料有限公司
地
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