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本公开涉及一种图案加载效应预测方法、装置、设备和产品。所述方法包括：获取版图的单位曝光区域面积内的图案周长面积，图案周长面积为图案周长与线宽的乘积；根据图案周长面积与图案的侧壁高度确定用于图案加载效应预测的拟合关系；根据拟合关系与目标图案比率，计算目标版图在图案加载效应影响下的目标图案厚度；目标图案比率为目标版图中单位曝光区域面积内的图案周长面积。可以有效预测化学气相沉积或低压化学气相沉积制程中的图案加载效应，并快速准确完成对图案有效面积敏感的制程波动的预测。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117115232 A
(43)申请公布日 2023.11.24
(21)申请号 202311331741.3 G01B 21/02 (2006.01)
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