一种自适应参数谱估计的高分辨光谱共焦干涉薄膜测厚法.pdfVIP

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2023-11-25 发布于四川
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一种自适应参数谱估计的高分辨光谱共焦干涉薄膜测厚法.pdf

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本发明公开了一种自适应参数谱估计的高分辨光谱共焦干涉薄膜测厚法，首先让宽带光源LS产生的光经过光纤耦合器后，以预设比例通过左侧的两个端口分别耦合到参考臂和样品臂S，经过样品面和参考面散射后回到光纤耦合器产生干涉，最后通过导光光纤经过凸透镜L3照射到衍射光栅G；衍射光栅G将干涉信号根据波长的不同，以不同的角度通过凸透镜L4后衍射到CCD相机镜头的不同位置，最终被CCD相机的感光元件所捕获到，之后通过计算机进行测厚处理。本发明可有效解决目前方法光谱间隙导致的测量分辨率受限问题。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117109450 A (43)申请公布日 2023.11.24 (21)申请号 202310917896.9 (22)申请日 2023.07.25 (71)申请人广东工业大学地址 510062