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本发明公开了一种基于晶圆视觉识别的基板定位方法及系统，通过预先采集完整晶圆图像和包含于晶圆中的单片基板的单片基板图像，根据完整晶圆图像，获得特征识别锚框，实时采集晶圆高分辨率图像，并基于特征识别锚框获得与晶圆高分辨率图像对应的基板轮廓图，根据基板轮廓图，拟合反映刻蚀线的网格图，根据网格图，将单片基板图像和晶圆高分辨率图像对应的晶圆灰度图进行匹配，对基板进行标记以及根据基板标记结果，对基板进行定位，解决了现有晶圆视觉定位基板精度低的技术问题，不仅可实时拟合不同晶圆刻蚀线并规划坐标，具有较强的适应能
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117115253 A
(43)申请公布日 2023.11.24
(21)申请号 202311063948.7 G06V 10/75 (2022.01)
(22)申请日 2023.08.
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