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本发明涉及一种改善包装片盒引起硅片时间依赖性雾的方法，所属硅片包装片盒技术领域，包括如下操作步骤：第一步：将包装片盒浸泡在清洗槽里，清洗槽使用药液为表面活性剂TSC‑1，在清洗槽内浸泡5～10min后用纯水冲洗，冲洗后放入片盒洗净机内纯水从冲洗，接着通过片盒洗净机驱动包装片盒离心运动进行烘干。第二步：通过氮气柜存放干净的包装片盒进行干燥。第三步：干净的硅片放入包装片盒中，接着包装片盒使用内包装袋包装封装，内包装袋采用氮气包装。第四步：在内包装袋外再包一层外包装袋，采用内包装袋和外包装袋双层包装封
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117104629 A
(43)申请公布日 2023.11.24
(21)申请号 202311079079.7 B65D 85/86 (2006.01)
(22)申请日 2023.08.
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