降低硅单晶拉制过程中微缺陷形成的装置及安装方法.pdfVIP

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2023-11-25 发布于四川
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降低硅单晶拉制过程中微缺陷形成的装置及安装方法.pdf

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一种降低硅单晶拉制过程中微缺陷形成的装置及安装方法，该装置包括降温部件、法兰和辅助降温组件；降温部件包括内筒和外筒，内筒的中间为空心结构，用于在硅单晶拉制过程中通过硅单晶，内筒的上端与法兰固定；外筒密封包裹在内筒的外表面，外筒的上端与法兰的下表面固定，外筒和内筒之间的密封空间内设置有水道，该水道的进水口和出水口分别正对设置于外筒两侧；辅助降温组件包裹在降温部件的外表面上，且降温部件的外表面与该辅助降温组件的内表面之间存在间隙，该辅助降温组件上设置有若干个气体导向孔，用于在单晶硅拉制过程中氩气通过

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117107352 A (43)申请公布日 2023.11.24 (21)申请号 202310923647.0 (22)申请日 2023.07.26 (71)申请人宁夏中欣晶圆半导