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一种LCC谐振型磁控溅射电源.pdfVIP

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  • 2023-11-25 发布于四川
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一种LCC谐振型磁控溅射电源.pdf

    本发明实施例提供一种LCC谐振型磁控溅射电源，包括：PWM整流滤波电路、三相LCC高频谐振逆变电路、高频整流滤波电路和功率输出电路；PWM整流滤波电路的输入端用于连接电网，PWM整流滤波电路的输出端依次通过三相LCC高频谐振逆变电路、高频整流滤波电路连接功率输出电路输入端，功率输出电路输出端用于连接负载，功率输出电路输出端还连接三相LCC高频谐振逆变电路。本发明整体体积小、功率大、低纹波输出，且具有良好弧抑制能力。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117118252 A (43)申请公布日 2023.11.24 (21)申请号 202311382796.7 (22)申请日 2023.10.24 (71)申请人 湖南汇鑫电力成套设备有限公司 地址

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