一种单晶硅制备方法.pdfVIP

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2023-11-25 发布于四川
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一种单晶硅制备方法.pdf

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本发明公开了一种单晶硅制备方法，包括以下步骤：获取放肩过程中历史放肩数据，历史放肩数据包括第一放肩时长、第一放肩长度和第一放肩直径；将历史放肩数据进行筛选，得到筛选后的历史放肩数据，将筛选后的历史放肩数据构建拟合模型；获取当前实际放肩数据，当前实际放肩数据包括第二放肩时长、第二放肩长度和第二放肩直径；将当前实际放肩数据输入至拟合模型，得到加热器功率修正值，根据加热器功率修正值和第一加热器功率的增量，得到第二加热器功率的增量。本发明通过改变原有的放肩参数设计理念，优化了放肩参数和放肩闭环控制系统，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117107356 A (43)申请公布日 2023.11.24 (21)申请号 202311301685.9 (22)申请日 2023.10.09 (71)申请人四川晶科能源有限公司地址 61